Analyse av ytelseskrav tiltitanmåli ulike bransjer
Gmail:alisa@jmyunti.com
I. Grunnleggende ytelseskrav til titanmål
① Renhet: Som en av de viktigste ytelsesindikatorene for målmaterialer, har renhet en avgjørende innvirkning på ytelsen til tynne filmer. I praktiske anvendelser varierer kravene til målrenhet fra bransje til bransje. For eksempel, i mikroelektronikkindustrien, med den kontinuerlige økningen i størrelsen på silisiumplaten og den kontinuerlige reduksjonen i ledningsbredden, øker også kravene til målrenhet. Tidligere kunne 99,995 % målrenhet oppfylle prosesskravene til 0.35um IC, men nå krever utarbeidelsen av 0.18um linjer at målrenheten når 99,999 % eller til og med 99,9999 %.
② Urenhetsinnhold: Urenheter i målfaststoffet og oksygen og vanndamp i porene er hovedkildene til forurensning for avsatte filmer. Derfor har mål for ulike formål ulike krav til urenhetsinnhold. For eksempel har mål av rene aluminium og aluminiumslegeringer brukt i halvlederindustrien spesielle krav til innhold av alkalimetall og innhold av radioaktive grunnstoffer.
③ Tetthet: For å redusere porene i målfaststoffet og forbedre ytelsen til den sputterede filmen, kreves det vanligvis at målet har en høyere tetthet. Tettheten til målmaterialet påvirker ikke bare sputterhastigheten, men påvirker også de elektriske og optiske egenskapene til filmen. I tillegg kan forbedring av tettheten og styrken til målmaterialet også gjøre det bedre motstå den termiske spenningen under sputterprosessen. Derfor er tetthet også en av de viktigste ytelsesindikatorene for målmaterialet.
④ Kornstørrelse og kornstørrelsesfordeling: Målmaterialet er vanligvis en polykrystallinsk struktur, og kornstørrelsen kan variere fra mikron til millimeter. For det samme målmaterialet er forstøvningshastigheten til et mål med fine korn vanligvis høyere enn for et mål med grove korn; og tykkelsesfordelingen av filmen avsatt ved sputtering av et mål med en liten forskjell i kornstørrelse (jevn fordeling) er mer jevn.
2. Renhetskrav for titanmål i ulike bransjer
① Titanmål brukt i integrerte kretser: Integrerte kretser har ekstremt høye renhetskrav for titanmål, vanligvis større enn 99,995 % for å sikre filmens ytelse og stabilitet.
② Titanmål brukt i flatskjermer: Flatskjermer inkluderer flytende krystallskjermer, plasmaskjermer, elektroluminescerende skjermer og feltemisjonsskjermer. Disse skjermene bruker ofte sputtering coating-teknologi for å avsette tynne filmer under produksjonsprosessen. Blant dem må titanmål, som et av de viktige sputtermålene, vanligvis ha en renhet på over 99,9 %. I tillegg kan titanmål også brukes mye innen høyteknologiske felt som elektronikk, informasjonsindustri, hjemmedekorasjon og produksjon av bilglass. I disse bransjene brukes titanmål hovedsakelig til å belegge integrerte kretser, flatskjermer, eller som dekorasjon og glassbelegg. Ved å optimalisere ytelsen og renheten til titanmål, kan kravene til ulike bransjer for filmytelse og stabilitet oppfylles.
Selskap: Baoji Dynamic Trading Co., Ltd
Land: Kina
Legg til: Baoti road, Jintai, Baoji city, Shaanxi, Kina
Cel:+86 18391896637(WHATSAPP)/18391894207
Gmail:alisa@jmyunti.com
Nettsted: www.jm-titanium.com
